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CCQ型－氣動(dòng)超高真空插板閥：
CCQ型氣動(dòng)超高真空插板閥是通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向，控制執(zhí)行氣缸驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng)，達(dá)到閥門的開啟或關(guān)閉。閥門用于接通或切斷真空管路中的氣流。適用介質(zhì)為純凈空氣和非腐蝕性氣體，帶反饋信號(hào)裝置。
CCQ型－氣動(dòng)超高真空插板閥主要技術(shù)性能
| 適用范圍： |
105～1.3×10-7Pa |
| 閥門漏率： |
≤1.3×10-7Pa.L/S.DN≤200
≤6.7×10-7Pa.L/S.DN≥250 |
| 適用溫度： |
-30～+150℃ |
閥門開啟時(shí)閥板兩側(cè)的壓差：
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≤2.7×103Pa. |
| 氣源壓力： |
0.4～0.6MPa |
CCQ型－氣動(dòng)超高真空插板閥主要零件材料
閥體、閥板：不銹鋼
密封件：氟橡膠、波紋管軸封、丁腈橡膠。
CCQ型－氣動(dòng)超高真空插板閥外形及連接尺寸mm
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